光學系列線性平台
2. 最大負載為4公斤(kg)
3. 具備高解析1奈米(nm)與標準解析100奈米(nm)之解析度
使用光學式感測元件作為位置資訊回饋核心。
本產品系列適用於各種需要超高精密定位與運動操作的場合，並具備可靠穩定的定位能力與多樣的解析度選擇。
最小增量動能 (標準線型系列)
最小增量動能 (高解析系列)
運動特性
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最高速度
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10 mm/s
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10 mm/s
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編碼器
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開迴路
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閉迴路
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編碼器解析度
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N/A
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0.1 µm (標準) / |
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最小步進量
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N/A
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0.3 µm (標準) /
15 nm (高解析) |
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雙向重覆定位精度
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N/A
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0.5 µm (標準) /
50 nm (高解析) |
機械特性
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最大負載
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4 公斤
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最大軸向負載
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150 克
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導引形式
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交叉滾柱滑軌
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俯仰角
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±200 µrad
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偏擺角
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±100 µrad
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選配功能
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材質
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陽極鋁合金(標配) ; 不鏽鋼
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真空
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大氣(標配) ; 真空 (1E-6 mbar)
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原點功能
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有
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行程限制功能
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有
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規格
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28型：行程 28 mm
36型：行程 36 mm
44型：行程 44 mm
