壓電平台
壓電平台(Piezo Stage)是一個通過壓電致動器(Piezoelectric Actuator,PEA),產出電壓來完成精準定位的機械裝置。壓電平台能夠提供奈米級精度和微型體積的定位應用,具有非常高的解析度可用來精準定位,在半導體設備、精密機械、光學影像系統、光通訊產業以及生物技術等多種科技領域都被廣泛使用。精浚科技提供光學式的線性與垂直壓電平台,還有與其搭配使用的壓電控制器,並具有客制化整合服務能力,滿足客戶不同的應用要求。
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