壓電平台

光學式系列

光學式系列 (3)

使用光學式感測元件作為位置資訊回饋核心。本產品系列適用於各種需要超高精密定位與運動操作的場合,並具備可靠穩定的定位能力與多樣的解析度選擇。
電感式系列

電感式系列 (3)

使用電感式感測元件作為位置資訊回饋核心。在提供實用地定位解析度的同時具備更加緊緻的體積, 更優異的環境耐受性以及極具競爭力的價格。本產品適用於各種需要精密定位、微奈米級運動操控的應用並可使用於一般真空環境中。