半導體產業

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應用

半導體設備、檢測設備、移載設備


使用產品

壓電控制器

壓電控制器

1. 電感式壓電平台專用 2. 體積緊緻 3. 可擴充 (可堆疊式控制器設計) 4. 控制接口數量可選擇 (1~3) 5. 客製化設計

壓電控制器

壓電控制器

壓電控制器

1. 光學式壓電平台專用 2. 體積緊緻 3. 可擴充 (可堆疊式控制器設計) 4. 控制接口數量可選擇 (1~3) 5. 控制訊號接頭樣式可選擇 (USB/SMA) 6. 客製化設計

壓電控制器

電感標準系列垂直平台

電感標準系列垂直平台

1. 提供10毫米(mm)運動行程 2. 最大負載為150克(g) 3. 具備37奈米(nm)之解析度

電感標準系列垂直平台

電感標準系列線性平台

電感標準系列線性平台

1. 提供4種不同的運動行程(20mm、28mm、36mm、44mm) 2. 最大負載為4公斤(kg) 3. 具備37奈米(nm)之解析度"

電感標準系列線性平台

光學系列垂直平台

光學系列垂直平台

1. 提供10毫米(mm)的運動行程 2. 最大負載為150克(g) 3. 具備高解析1奈米(nm)與標準解析100奈米(nm)之解析度

光學系列垂直平台

線性滑軌BGX系列 標準型非鏈帶

線性滑軌BGX系列 標準型非鏈帶

1. 循環套管結構降低噪音 2. 四排珠高剛性負載設計 3. 循環套管使用高分子聚合物增進油潤效果 4. 防止塵埃進入,提昇滑軌壽命與品質

線性滑軌BGX系列 標準型非鏈帶

線性滑軌MPH系列 鋼絲保持器型

線性滑軌MPH系列 鋼絲保持器型

1. 四方向等負荷設計 2. 鋼絲保持器設計 3. 自潤組件提升潤滑效果,行走順暢佳 4. 微小設計節省空間

線性滑軌MPH系列 鋼絲保持器型

線性滑軌MBC系列 微小型鏈帶

線性滑軌MBC系列 微小型鏈帶

1. 使用國際標準規格,易於替換 2. 鏈帶型提升油潤效果 3. 塑件迫緊系統確保精度 4. 外扣式防塵卡榫結構

線性滑軌MBC系列 微小型鏈帶

滾珠螺桿 FDI  Type

滾珠螺桿 FDI Type

內循環系列

滾珠螺桿 FDI Type

滾珠螺桿 RSK  Type

滾珠螺桿 RSK Type

無法蘭系列

滾珠螺桿 RSK Type

滾珠螺桿 RSU Type

滾珠螺桿 RSU Type

靜音型系列

滾珠螺桿 RSU Type

滾珠螺桿 FSS Type

滾珠螺桿 FSS Type

靜音型系列

滾珠螺桿 FSS Type