半導體產業

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應用

半導體設備、檢測設備、移載設備

使用產品

線性滑軌 BGX系列標準型非鏈帶

1. 循環套管結構降低噪音 2. 四排珠高剛性負載設計 3. 循環套管使用高分子聚合物增進油潤效果 4. 防止塵埃進入，提昇滑軌壽命與品質

線性滑軌 BGX系列標準型非鏈帶

型號 : 15/20/25/30/35/45/55

滾珠螺桿 RSH Type

無法蘭系列

滾珠螺桿 RSH Type

型號 : 12H2-1.5 / 16H5-3.5

滾珠螺桿 RSY Type

無法蘭系列

滾珠螺桿 RSY Type

型號 : 1204-3/1205-3/1210-2/1605-3/1605-4/1610-3/1616-2/2005-3/2005-4/2010-3/2020-4/2505-4/2510-3/3205-4

滾珠螺桿 FSI Type

內循環系列

滾珠螺桿 FSI Type

型號 : 1404-4/1405-3/1604-4/1605-3/1605-4/1610-3/2005-4/2504-4/2505-4/2510-4/3205-4/3210-4/4005-4/4010-4

壓電控制器

1. 電感式壓電平台專用 2. 體積緊緻 3. 可擴充 (可堆疊式控制器設計) 4. 控制接口數量可選擇 (1~3) 5. 客製化設計

壓電控制器

型號 : PCT1E51 / PCT1E52 / PCT1E53

壓電控制器

1. 光學式壓電平台專用 2. 體積緊緻 3. 可擴充 (可堆疊式控制器設計) 4. 控制接口數量可選擇 (1~3) 5. 控制訊號接頭樣式可選擇 (USB/SMA) 6. 客製化設計

壓電控制器

型號 : PCT1E31 / PCT1E32 / PCT1E33 / PCT1E11 / PCT1E12 / PCT1E13

電感標準系列垂直平台

1. 提供10毫米(mm)運動行程 2. 最大負載為150克(g) 3. 具備37奈米(nm)之解析度

電感標準系列垂直平台

型號 : PST8E510A

電感標準系列線性平台

1. 提供4種不同的運動行程(20mm、28mm、36mm、44mm) 2. 最大負載為4公斤(kg) 3. 具備37奈米(nm)之解析度"

電感標準系列線性平台

型號 : PST1E520A(20mm) / 528A(28mm) / 536A(36mm) / 544A(44mm)

光學系列垂直平台

1. 提供10毫米(mm)的運動行程 2. 最大負載為150克(g) 3. 具備高解析1奈米(nm)與標準解析100奈米(nm)之解析度

光學系列垂直平台

型號 : Standard series：PST8E310A High precision series：PST8E110A

線性滑軌MPH系列鋼絲保持器型

1. 四方向等負荷設計 2. 鋼絲保持器設計 3. 自潤組件提升潤滑效果，行走順暢佳 4. 微小設計節省空間

線性滑軌MPH系列鋼絲保持器型

型號 : 07/09/12

線性滑軌MBC系列微小型鏈帶

1. 使用國際標準規格，易於替換 2. 鏈帶型提升油潤效果 3. 塑件迫緊系統確保精度 4. 外扣式防塵卡榫結構

線性滑軌MBC系列微小型鏈帶

型號 : 09/12/15

滾珠螺桿 FDI Type

內循環系列

滾珠螺桿 FDI Type

型號 : 1605-3/2005-4/2505-4/3210-4/4005-4/4010-4/5010-4/6310-4/6320-3/8010-4/8020-3