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半導體產業: 晶圓移載設備、晶圓清洗設備

▂ 晶圓移載設備

提供產品與服務項目 : 高精密運動平台、高速位移平台、線性滑軌

▂ 晶圓清洗設備

提供產品與服務項目 : 多軸液體移載系統、機電整合、線性滑軌

使用產品

線性馬達位移平台

1. 穩定度高 2. 長行程 3. 高精準度

線性馬達位移平台

型號 : LMTS1 / LMSS1 / LMGS1 / LMGW1 / LMCS1

一體式螺桿位移平台

1. 高剛性 2. 高精度 3. 體積輕巧 4. 設計速度快

一體式螺桿位移平台

型號 : Ball screw / Guide Built-in

線性滑軌 BGC系列標準型鏈帶

1. 靜音套管結構降低噪音 2. 鏈帶循環帶動整體油潤 3. 鏈帶提升鋼珠聚油能力 4. 鏈帶無段接點順暢設計

線性滑軌 BGC系列標準型鏈帶

型號 : 15/20/25/30/35/45/55

線性滑軌MBC系列微小型鏈帶

1. 使用國際標準規格，易於替換 2. 鏈帶型提升油潤效果 3. 塑件迫緊系統確保精度 4. 外扣式防塵卡榫結構

線性滑軌MBC系列微小型鏈帶

型號 : 09/12/15

線性滑軌MBX系列微小型非鏈帶

1. 使用國際標準規格，易於替換 2. 塑件迫緊系統確保精度 3. 外扣式防塵卡榫結構

線性滑軌MBX系列微小型非鏈帶

型號 : 09/12/15

滾珠螺桿 FSC Type

靜音型系列

滾珠螺桿 FSC Type

型號 : 1210-2/1520-2/1610-3/1616-3/2010-3/2020-4/2510-4/2525-4/3220-3/3232-4/4020-3/4040-4/5020-5

滾珠螺桿 FSB Type

內循環系列

滾珠螺桿 FSB Type

型號 : 1404-3/1405-3/1605-3/2005-3/2505-3/2510-3/2510-4/3210-3/3210-4

滾珠螺桿 FDU Type

歐規DIN

滾珠螺桿 FDU Type

型號 : 1605-3/2005-4/2505-4/2510-4/3205-4/3210-4/4005-4/4010-4/5010-4/6310-4/6320-3/8010-4/8020-3

滾珠螺桿 FSK Type

微小型系列

滾珠螺桿 FSK Type

型號 : 0601-3/0801-3/0802-3/0825-3/1002-3/1004-3/1202-3/1204-3/1205-3/1402-3

滾珠螺桿 RSU Type

靜音型系列

滾珠螺桿 RSU Type

型號 : 1604-3/1605-4/2005-4/2505-4/2510-4/3205-4/3210-4/4005-4/4010-4/5010-4

滾珠螺桿 FDI Type

內循環系列

滾珠螺桿 FDI Type

型號 : 1605-3/2005-4/2505-4/3210-4/4005-4/4010-4/5010-4/6310-4/6320-3/8010-4/8020-3

滾珠螺桿 FSE Type

高導程&超高導程系列

滾珠螺桿 FSE Type

型號 : 1616-2/2020-2/2520-2/3232-2/4040-2/5050-2