• 電感標準系列垂直平台

電感標準系列垂直平台

1. 提供10毫米(mm)運動行程
2. 最大負載為150克(g)
3. 具備37奈米(nm)之解析度
型號 : PST8E510A
使用電感式感測元件作為位置資訊回饋核心。在提供實用地定位解析度的同時具備更加緊緻的體積, 更優異的環境耐受性以及極具競爭力的價格。本產品適用於各種需要精密定位、微奈米級運動操控的應用並可使用於一般真空環境中。

電感式的壓電垂直平台提供10毫米(mm)的運動行程,最大負載為150克(g)並具備37奈米(nm)之解析度。

   最小增量動能   

minimumincrementalmotion.png

運動特性

最高速度
10 mm/s
10 mm/s
編碼器
開迴路
閉迴路
編碼器解析度
N/A
37 nm
最小步進量
N/A
150 nm
雙向重覆定位精度
N/A
300 nm


機械特性

最大負載
150 克
最大軸向負載
150 克
導引形式
交叉滾柱滑軌
俯仰角
±200 µrad
偏擺角
±100 µrad


選配功能

材質
陽極鋁合金(標配) ; 不鏽鋼
真空
大氣(標配) ; 真空 (1E-6 mbar)
原點功能
行程限制功能

規格

圖面連結

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10型:行程 10 mm

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(PST8E510A)

pst8e510a_600.jpg



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