電感標準系列垂直平台
1. 提供10毫米(mm)運動行程
2. 最大負載為150克(g)
3. 具備37奈米(nm)之解析度
2. 最大負載為150克(g)
3. 具備37奈米(nm)之解析度
型號 :
PST8E510A
使用電感式感測元件作為位置資訊回饋核心。在提供實用地定位解析度的同時具備更加緊緻的體積, 更優異的環境耐受性以及極具競爭力的價格。本產品適用於各種需要精密定位、微奈米級運動操控的應用並可使用於一般真空環境中。
電感式的壓電垂直平台提供10毫米(mm)的運動行程，最大負載為150克(g)並具備37奈米(nm)之解析度。
電感式的壓電垂直平台提供10毫米(mm)的運動行程，最大負載為150克(g)並具備37奈米(nm)之解析度。
最小增量動能
運動特性
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最高速度
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10 mm/s
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10 mm/s
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編碼器
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開迴路
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閉迴路
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編碼器解析度
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N/A
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37 nm
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最小步進量
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N/A
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150 nm
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雙向重覆定位精度
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N/A
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300 nm
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機械特性
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最大負載
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150 克
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最大軸向負載
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150 克
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導引形式
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交叉滾柱滑軌
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俯仰角
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±200 µrad
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偏擺角
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±100 µrad
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選配功能
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材質
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陽極鋁合金(標配) ; 不鏽鋼
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真空
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大氣(標配) ; 真空 (1E-6 mbar)
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原點功能
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有
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行程限制功能
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有
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半導體產業 生物醫療 光電/光通訊產業
