電感標準系列線性平台
2. 最大負載為4公斤(kg)
3. 具備37奈米(nm)之解析度"
使用電感式感測元件作為位置資訊回饋核心。在提供實用地定位解析度的同時具備更加緊緻的體積, 更優異的環境耐受性以及極具競爭力的價格。本產品適用於各種需要精密定位、微奈米級運動操控的應用並可使用於一般真空環境中。
運動行程:20、28、36以及44毫米(mm)
最小增量動能
運動特性
最高速度
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10 mm/s
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10 mm/s
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編碼器
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開迴路
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閉迴路
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編碼器解析度
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N/A
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37 nm
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最小步進量
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N/A
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150 nm
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雙向重覆定位精度
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N/A
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300 nm
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機械特性
最大負載
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4 公斤
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最大軸向負載
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150 克
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導引形式
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交叉滾柱滑軌
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俯仰角
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±200 µrad
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偏擺角
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±100 µrad
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選配功能
材質
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陽極鋁合金(標配) ; 不鏽鋼
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真空
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大氣(標配) ; 真空 (1E-6 mbar)
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原點功能
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有
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行程限制功能
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有
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規格 |
圖面連結 |
圖面下載 |
20型:行程 20 mm (PST1E520A) |
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28型:行程 28 mm (PST1E528A) |
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36型:行程 36 mm (PST1E536A) |
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44型:行程 44 mm (PST1E544A) |
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