電感標準系列線性平台
2. 最大負載為4公斤(kg)
3. 具備37奈米(nm)之解析度"
使用電感式感測元件作為位置資訊回饋核心。在提供實用地定位解析度的同時具備更加緊緻的體積, 更優異的環境耐受性以及極具競爭力的價格。本產品適用於各種需要精密定位、微奈米級運動操控的應用並可使用於一般真空環境中。
運動行程：20、28、36以及44毫米(mm)
最小增量動能
運動特性
|
最高速度
|
10 mm/s
|
10 mm/s
|
|
編碼器
|
開迴路
|
閉迴路
|
|
編碼器解析度
|
N/A
|
37 nm
|
|
最小步進量
|
N/A
|
150 nm
|
|
雙向重覆定位精度
|
N/A
|
300 nm
|
機械特性
|
最大負載
|
4 公斤
|
|
最大軸向負載
|
150 克
|
|
導引形式
|
交叉滾柱滑軌
|
|
俯仰角
|
±200 µrad
|
|
偏擺角
|
±100 µrad
|
選配功能
|
材質
|
陽極鋁合金(標配) ; 不鏽鋼
|
|
真空
|
大氣(標配) ; 真空 (1E-6 mbar)
|
|
原點功能
|
有
|
|
行程限制功能
|
有
|
|
規格 |
圖面連結 |
圖面下載 |
|
20型：行程 20 mm
(PST1E520A) |
|
|
|
28型：行程 28 mm
(PST1E528A) |
|
|
|
36型：行程 36 mm
(PST1E536A) |
|
|
|
44型：行程 44 mm
(PST1E544A) |
|
|
