電感式系列

電感式系列

使用電感式感測元件作為位置資訊回饋核心。在提供實用地定位解析度的同時具備更加緊緻的體積, 更優異的環境耐受性以及極具競爭力的價格。本產品適用於各種需要精密定位、微奈米級運動操控的應用並可使用於一般真空環境中。

壓電控制器

壓電控制器

1. 電感式壓電平台專用 2. 體積緊緻 3. 可擴充 (可堆疊式控制器設計) 4. 控制接口數量可選擇 (1~3) 5. 客製化設計

壓電控制器

電感標準系列垂直平台

電感標準系列垂直平台

1. 提供10毫米(mm)運動行程 2. 最大負載為150克(g) 3. 具備37奈米(nm)之解析度

電感標準系列垂直平台

電感標準系列線性平台

電感標準系列線性平台

1. 提供4種不同的運動行程(20mm、28mm、36mm、44mm) 2. 最大負載為4公斤(kg) 3. 具備37奈米(nm)之解析度"

電感標準系列線性平台